1本設備是将IC表面做等離(lí)子清洗(打plasma)的功能;
2在線軌道式清洗方式可與其他設備聯機生(shēng)産;
3自動定位清洗,自動傳輸出,防止二次污染;
4清洗主機采用大(dà)氣火(huǒ)焰式旋轉噴頭;
4.配備PLC控制相結合的控制單元,操作面全中(zhōng)文,帶用戶密碼保護功能;
5.主要配件采用日本/台灣進口高精密元件,有效保證設備的穩定性;
6.參數由PC/PLC控制輸入、保存,方便調試。設備具有聲光報警功能;
7.設備整體(tǐ)采用高剛性結構,提高設備整體(tǐ)穩定性。